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真空泵工作原理

罗茨真空泵,罗茨真空泵原理

日期:2018-05-04 15:32:00      作者:烟台沃尔姆真空技术有限公司

  罗茨真空泵图片/罗茨泵图片

罗茨真空泵图片 / 罗茨泵图片


罗茨真空泵

罗茨真空泵(简称罗茨泵)是一种旋转式变容真空泵。它是由罗茨鼓风机演变而来的。

DMB罗茨真空泵是在10﹣¹—10³Pa 真空范围具有较大抽速且成本较低的设备,它可以与多种真空泵结合组成真空机组,在较低压力时有效地提高抽速,扩大前级泵的抽速范围。结合干式螺杆真空泵使用可确保被抽容器更加洁净,系统更可靠。沃尔姆所有产品在出厂前都作动平衡和泄漏测试。

气体通过进气管路进入泵腔内,由主真空泵排放至前级泵吸入口。由于转子旋转时,转子和机器外壳间隙极小(0.2~0.6mm),所以罗茨泵可以实现洁净真空排放,即机器外壳和转子无需使用润滑油。同时,因为转子和机器外壳无接触,即使转子在高速旋转时(最高3600rpm),也可以实现转子的半永久式使用。沃尔姆罗茨泵不采用机械密封,长期化学作用不会导致轴承的污染。

根据罗茨真空泵工作范围的不同,又分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵(又称机械增压泵)和高真空多级罗茨泵。一般来说,罗茨泵具有以下特点:

在较宽的压强范围内有较大的抽速;

起动快,能立即工作;

对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感;

转子不必润滑,泵腔内无油;

振动小,转子动平衡条件较好,没有排气阀;

驱动功率小,机械摩擦损失小;

结构紧凑,占地面积小;

运转维护费用低。

因此,罗茨泵在冶金、石油化工、造纸、食品、电子工业部门得到广泛的应用。

罗茨真空泵原理图  /    罗茨泵原理图

罗茨真空泵原理图 / 罗茨泵原理图


罗茨真空泵原理

罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。

靠泵腔内一对叶形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气的真空泵。

罗茨真空泵是指具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵,此泵不可以单独抽气,前级需配油封、水环等可直排大气。

它的结构和工作原理与罗茨鼓风机相似,工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。这种真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不接触,

间隙一般为0.1~0.8毫米;不需要用油润滑。转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。渐开线转子泵的容积利用率高,加工精度易于保证,故转子型线多用渐开线型。罗茨真空泵的转速可高达3450~4100转/分;抽气速率为30~10000升/秒(1升=10-3米3);极限真空:单级为6.5×102帕,双级为1×103帕。

罗茨真空泵工作原理图/罗茨泵工作原理图

罗茨真空泵工作原理图 / 罗茨泵工作原理图


罗茨真空泵的工作原理

罗茨泵结构如图所示。在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。

罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。

如图为罗茨泵转子由0°转到180°的抽气过程。在0°位置时(图中a),下转子从泵入口封入v0体积的气体。当转到45°位置时(图中b),该腔与排气口相通。由于排气侧压强较高,引起一部分气体返冲过来。当转到90°位置时(图中c),下转子封入的气体,连同返冲的气体一起排向泵外。这时,上转子也从泵入口封入v0体积的气体。当转子继续转到135°时(图中d),上转子封入的气体与排气口相通,重复上述过程。180°(图e)位置和0°位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体。