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干式螺杆真空泵

ESDP变螺距干式螺杆真空泵

- ESDP variable pitch dry screw vacuum pump

变螺距干式螺杆真空泵图片
变螺距干式螺杆真空泵图片
ESDP干式螺杆真空泵使用了独特的螺杆转子型线,动力节省30%,排气温度低,工艺稳定,干式螺杆泵产品适用于各种领域的真空工艺,也维持了**佳的真空效率和耐用性。ESDP系列不使用油和水,用可变压缩方式操作,水蒸气和液态混合工艺,非常适合干燥,溶剂回收,化工,制药,塑料等各种真空工艺。
特点

■ ESDP干式螺杆真空泵优点及特征

1.吸入效率(提升15%)。

2.排气效率改善(2级可变,连续可变频率)。

3.极限压力:1*10-2Torr(托)。

4.排气温度降低50%。

5.电力消耗减少30%。

6.不使用油和水,不会造成油和水的污染。

7.低功耗、低噪音、低振动,动平衡好,没有惯性力,可高速运行。

8.设计结构简单,易保养,维修费用低,寿命长。

9.适用范围广,具有高真空性能。

10.使用寿命长,气体接触部位都具有聚四氟乙烯、镍和哈氏合金涂层(部分工艺可选用特种材质解决腐蚀问题)。

11.唇型密封和机械密封等多种密封方式,满足不同的工艺应用。

12.前后采用稀有润滑方式,提高轴承耐用性。

  ■ ESDP干式螺杆真空泵概述

  极限压力完全无油无水

  ESDP干式螺杆真空泵使用了独特的螺杆转子型线,动力节省30%,排气温度低,工艺稳定,干式螺杆泵产品适用于各种领域的真空工艺,也维持了**佳的真空效率和耐用性。

  ESDP系列不使用油和水,用可变压缩方式操作,水蒸气和液态混合工艺,非常适合干燥,溶剂回收,化工,制药,塑料等各种真空工艺。

典型应用

  ■ ESDP干式螺杆泵的应用范围

  ●ESDP系列在半导体合成及液晶生产上的应用,主要有半导体等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺,液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中。此工艺要求返流为0,以保护工件免受污染。

  ● 在石油化工中,主要是抽取可凝性气体,或有毒气体,或腐蚀性气体,或含有微尘的气体。

  ●制药行业,用于药物的真空干燥,药物中间体回收,回收气体消毒剂,为人造器官提供清洁无菌条件等。

  ●化工中用于真空蒸馏及溶剂萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工艺

  ●工业排气;集中式真空处理系统

  ●挤出机的混合工艺及板材的排气工艺

  ●混合树脂脱腥工艺;在脂肪酸生产中用于消除水污染,及喷射器中的阻塞物

  ●食品行业用于香料、香精浓缩,食品包装等。


  ■ ESDP干式螺杆真空泵技术参数


型号抽气量极限压力电机功率转速进气排气冷却水量噪声重量
M³/hPaKWrpmmmmmL/mindBKg
ESDP3202601.337.5290065501080320
ESDP4303601.3311290065501280380
ESDP6505401.3315290080651280580
ESDP9007501.3318.52900100652080680
ESDP150014001.33372900125803082950

  如需得到更为详细的信息,请咨询客服。


  ■ ESDP干式螺杆真空泵标准配件

  基座和防护罩

  排气消声器及进气分离器

  吸气口

  止回阀

  真空计


  ■ ESDP干式螺杆真空泵可选配件

  吸滤器

  排气冷凝器

  吸入式气液分离器

  流量开关及温度开关